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顛覆性的技術(shù)革新，致輕、致小，**實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中
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2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子
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4.3英寸彩色觸摸顯示屏
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可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
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設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口
Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950-00
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品 名 |
塵埃粒子計數(shù)器 |
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型 號 |
3950-00 |
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粒子測量 |
測試方法 |
光散射法 |
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粒徑通道 |
2粒徑（0.1、0.3μm） |
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額定流量 |
0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) |
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測量時間 |
6秒~99分59秒（1次測量時間） |
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間隔時間 |
6秒~99分59秒（測量周期） |
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采樣次數(shù) |
1~999次 或 連續(xù)測試 |
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地點(diǎn)設(shè)定 |
99個地點(diǎn) |
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測量方式 |
重復(fù)、單次、連續(xù)、計算 |
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測量數(shù)據(jù)顯示時間 |
1~10秒 |
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測量數(shù)據(jù)顯示 |
累計值∑ 差分值△及柱形圖 |
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*大可測濃度 |
10,000,000個/m3 |
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計數(shù)效率 |
50±20%（相對于*小可測粒徑附近的PSL粒子） |
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偽 計 數(shù) |
<1個/35min |
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粒徑分辨率 |
15%以下（相對0.3μm的PSL粒子） |
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氣 源 |
內(nèi)置泵 |
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顯示器 |
4.3英寸彩色液晶 觸摸屏 |
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通迅功能 |
本 體 |
USB（Host用于打印機(jī)、USB存儲；Device用于與PC鏈接） |
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數(shù)據(jù)存儲 |
媒 體 |
內(nèi)存 |
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數(shù)量、格式 |
*大10,000個、CSV格式 |
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顯示語言 |
英文、日語 |
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電 源 |
AC100~240V |
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使用環(huán)境 |
本 體 |
15~35℃、0~85%RH （無結(jié)露） |
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外形尺寸 |
W150 X H163 X D228 mm |
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重 量 |
3.4kg |
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